全自动ICP-PECVD绝缘介质层沉积系统【重新招标】项目已具备招标条件，招标项目资金已落实。中科信工程咨询（北京）有限责任公司（招标代理机构）受中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所（招标人）的委托，对该项目进行国际公开招标采购。

1. 招标范围

1.1 货物名称：全自动ICP-PECVD绝缘介质层沉积系统

1.2 招标编号：0779-26400341A018

1.3项目概况：

本次全自动ICP-PECVD绝缘介质层沉积系统设备招标采购旨采满足科研生产需求，其包含2个6英寸工艺腔（1个ICPCVD腔和1个PECVD腔）和与之配套的预真空腔、传片机构、控制终端、射频系统、真空系统、控温系统等。更多指标详见第八章技术规格。

关键技术参数：

1. ICPCVD工艺腔：沉积速率≥60nm/min（SiO2）；折射率范围不超过1.46±0.02（SiO2）；片内均匀性≤3%；片间均匀性≤3%。

2. PECVD工艺腔：沉积速率≥100nm/min（TEOS SiO2）；折射率范围不超过1.46±0.01（TEOS SiO2）；片内均匀性≤4%；片间均匀性≤3%。

更多技术指标详见第八章。

1.4 数量：1套。

1.5 交货期：合同签订后12个月内到货。

1.6 项目现场：中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所指定地点。

2. 对投标人的资格要求

2.1 投标人必须是响应招标的法人或其他组织，具有独立承担民事责任能力。

2.2本次招标接受代理商投标，代理商必须获得制造商的合法授权，提供制造商授权书。授权书包括制造商直接开具的；或制造商的独资公司开具的（同时须提供制造商与独资子公司的关系说明，并由双方签字或者盖章）。

2.3本项目不接受联合体投标。

2.4投标人必须向招标代理机构购买招标文件并进行登记才具有投标资格。

3. 招标文件获取

3.1凡有意参加投标者，请于2026年2月9日至2026年2月24日17时(北京时间)，登录中航工业电子采购平台（

3.2 招标文件售价人民币800元或112美元，售后款项不予退还。潜在投标人应通过本链接:

3.3 投标人必须在中航工业电子采购平台注册，办理CA数字证书与电子签章，否则无法投标。（详见中航工业电子采购平台相关说明）。

4. 投标文件的递交

4.1投标文件递交的截止时间（投标截止时间，下同）为2026年3月6日9时00分（北京时间），投标人应在截止时间前通过中航工业电子采购平台（

4.2逾期送达的投标文件，中航工业电子采购平台将予以拒收。

4.3投标人未按要求上传加密电子版投标文件，或平台软件无法获取、解密投标人上传的电子版投标文件，招标人不予受理。

5. 开标

开标时间同投标文件递交的截止时间，开标地点同投标文件递交地点。

6. 发布公告的媒介

本次招标公告同时在本网站、中航工业电子采购平台、中国国际招标网、和中招联合招标采购平台上发布。

7.监督部门

本招标项目的监督部门为中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所纪检部/审计法律部。

8. 联系方式（含异议受理）

招标人名称：中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所

地址：陕西省西安市高新区锦业路129号

联系人：任经理

电话：029-61886363

招标代理机构名称：中科信工程咨询（北京）有限责任公司

地址：北京市海淀区金沟河路与采石北路十字路口东南角88号大楼

邮编： 100039

联系人：郗女士

电话： 029-89249895

项目负责人：王玮

电话：029-89249161、029-89248368

传真：010-88529153

电子邮件：zhaobiaobu@

2026年2月9日