招标编号：西工大招采（货）-2021-003号

1.招标条件

本项目已由上级部门批准建设，资金中央高校建设世界一流大学（学科）和特色发展引导专项资金，概算1065.8万元，招标人为西北工业大学。本项目已具备招标条件，现进行公开招标，诚邀符合条件的投标人前来报名。

2.项目概况

项目概况：深硅刻蚀系统包含加工模块DRIE深硅刻蚀机和检测模块原子力显微镜两部分。其中加工模块DRIE深硅刻蚀机采用Bosch深反应离子刻蚀原理，用SF6作为刻蚀气体，C4F8作为钝化气体，刻蚀与钝化产生交替进行，主要用于硅片和SOI片近似90°的高深宽比微结构刻蚀，兼容4英寸、6英寸硅晶圆和SOI晶圆。检测模块原子力显微镜利用探针与样品表面的相互作用原理进行测量，主要用于微刻蚀结构表面原子级分辨率的微观形貌检测和表面组分、电磁电势等物理化学特性分析，该设备应用在深硅刻蚀工艺研发、工艺改进、品质控制和失效分析等方面。

工期/供货期：自中标通知书发出之日起210日历天

3.投标人资格要求

3.1投标人应具有独立法人资格，具备有效的企业法人营业执照、税务登记证和组织机构代码（或标注统一社会信用代码的营业执照）。

3.2投标人出具有效的法定代表人身份证明书、法定代表人授权委托书、资格预审资料承诺书。

3.3法定代表人身份证（正反面）和被授权人身份证（正反面）。

3.4本项目不接受联合体投标。

4.资格审查方法

4.1本项目采用资格预审。

4.2疫情防控期间，不收取资格预审费。

5.报名

各报名单位先登录西北工业大学招标与设备采购中心（以下简称西工大招采中心）网站“供应商管理系统”进行网上报名，经西工大招采中心网上确认通过后，视为报名成功。

5.1网上报名

5.1.1报名时间：2021年01月17日至2021年01月22日，每天0:00至24:00（北京时间，下同）。

5.1.2报名网址：西工大招采中心网站“供应商管理系统”栏目。

5.1.3报名程序：

第一步：登录西工大招采中心网站“供应商管理系统”。

第二步：点击“供应商报名”，再点击“公开招标项目报名”，选择报名项目，填写供应商信息，按要求上传材料，核对无误后点击“提交”。

5.2网上确认

5.2.1确认时间：2021年01月17日至2021年01月23日。原则上每日17:00以前的报名信息于当日审核完毕，每日17:00以后的报名信息于下一日17:00以前审核完毕。

5.2.2确认方式：西工大招采中心网上审核报名单位报名信息，报名单位不需要派人来现场。审核以网上报名填写信息和上传的资料为准，填写信息和上传资料应当齐全、真实、有效、完整且签字盖章齐全。否则，视为报名不成功，不予参加资格预审。

5.2.3审核通过后，短信告知报名单位“用户名”和“登录密码”（请牢记），即为报名成功。

5.3后续招标过程中，各单位凭“用户名”和“登录密码”登录西工大招采中心网站“供应商管理系统”，获取相关通知和文件资料。

6.资格预审时间和提交资料

6.1资格预审时间：2021年03月01日

6.2提交资格预审资料的方式

6.2.1报名成功的报名单位按“3.投标人资格要求”提交资格预审资料。注意：所提交材料必须为原件扫描件（PDF或图片格式），并发至指定电子邮箱。不需要派人到现场提交材料。

6.2.2资格预审资料的提交邮箱为hwcg@nwpu.edu.cn。

提交时，请将所有资格预审资料的扫描件打包压缩，压缩文件名为：深硅刻蚀系统项目资格预审资料（报名单位全称），添加为邮件附件。邮件主题为：深硅刻蚀系统项目资格预审资料（报名单位全称）。

6.2.3提交资料须齐全、真实、有效、完整且签章齐全，并完全符合“3.投标人资格要求”，如有一项不合格，不予通过资格预审。

6.3接收资格预审资料的截止时间

6.3.1接收资格预审资料的截止时间为2021年03月01日 00:00前（以接收邮箱中显示的接收时间为准）。在截止时间后，不再查收报名单位的资格预审资料，该单位视为自行放弃资格预审资格，不予通过资格预审。

6.3.2截止时间一到，任何单位不得再补充提交资料（资格审查工作组需要澄清的资料除外）。

6.4投标人（及拟派项目负责人）无不良行为记录且当前招投标资格状态有效，相关信息查询以政府诚信平台和学校不良行为记录为准，其中政府诚信平台是指信用中国和国家企业公示系统。

7．发布公8．联系方式

西北工业大学招标与设备采购中心

地址：西北工业大学友谊校区勇字楼120室

商务联系人：方老师 电话（手机）：029-88493786

技术联系人：任老师 电话（手机）：18202906680

9.其他

9.1投标人如有围标、串标、借取他人资质或以其他方式弄虚作假等违法违规行为，一经查实，列入我校不良行为名单。

9.2本项目招标资料（包括：招标文件、答疑纪要和有关通知等）自动发送至资格预审合格单位的系统账户中，请各单位登录西工大招采中心网站的“供应商管理系统”下载，不再另行发放。

9.3法定代表人身份证明书、法定代表人授权委托书的模板请在西工大招采中心网站“下载专区-常用表单”栏目中下载。

9.4资格预审资料承诺书的模板请在西工大招采中心网站“下载专区-常用表单”栏目中下载，必须按照所提供的格式填写，否则按无效处理。

9.5本公告的解释权归西北工业大学招标与设备采购中心。





西北工业大学招标与设备采购中心



2021年01月16日